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有机光功能器件加工平台
2011-06-16 | 编辑: | 【大 中 小】【关闭】

    

无掩膜光刻设备                                        有机器件制备系统

    

光波导器件加工系统                                               溅射仪

  

光刻机                                      反应离子蚀刻机

  

电光材料极化设备                                           旋转涂膜机

 
 
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